特許
J-GLOBAL ID：200903033224375590

窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法

発明者：
小松 通泰

小松 通泰 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-371275
公開番号（公開出願番号）：特開2000-191376
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：
【要約】【課題】AlN焼結体の粒成長を抑制し、焼結体組織を微細化するとともに粒界相と結晶粒との結合強化を図り焼結体の強度ならびに破壊靭性値を共に改善し、窒化アルミニウム特有の放熱特性を損うことなく機械的強度および破壊靭性値を共に高めるとともに、表面に液相の凝集偏析がなく均一な表面を有するAlN焼結体およびその製造方法を提供する。【解決手段】周期律表IIIa族元素,Ca,Sr,Baから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を1〜10重量%と、炭化ボロンを0.2〜2.0重量%と、SiO2 ,Si3 N4 ,SiC,Si2 N2 O,β-サイアロン,α-サイアロンおよびポリタイプの窒化アルミニウム(Al-Si-O-N)から選択された少なくとも1種のけい素化合物をSi成分換算で0.2重量%以下と、HfおよびZrの少なくとも1種を酸化物換算で0.1〜2重量%と、残部を構成する窒化アルミニウムとから成ることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
周期律表IIIa族元素,Ca,Sr,Baから選択される少なくとも1種の元素の酸化物を1〜10重量%と、炭化ボロンを0.2〜2.0重量%と、SiO2 ,Si3 N4 ,SiC,Si2 N2 O,β-サイアロン,α-サイアロンおよびポリタイプの窒化アルミニウム(Al-Si-O-N)から選択された少なくとも1種のけい素化合物として含有されるをSi成分換算で0.2重量%以下と、HfおよびZrの少なくとも1種を酸化物換算で0.1〜2重量%と、残部を構成する窒化アルミニウムとから成ることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
IPC (2件)：
C04B 35/581 ,  H01L 23/373
FI (2件)：
C04B 35/58 104 K ,  H01L 23/36 M
Fターム (44件)：
4G001BA04 ,  4G001BA06 ,  4G001BA07 ,  4G001BA08 ,  4G001BA09 ,  4G001BA12 ,  4G001BA13 ,  4G001BA14 ,  4G001BA22 ,  4G001BA23 ,  4G001BA32 ,  4G001BA36 ,  4G001BA37 ,  4G001BA43 ,  4G001BA48 ,  4G001BA51 ,  4G001BA52 ,  4G001BA73 ,  4G001BB01 ,  4G001BB04 ,  4G001BB06 ,  4G001BB07 ,  4G001BB08 ,  4G001BB12 ,  4G001BB13 ,  4G001BB14 ,  4G001BB22 ,  4G001BB23 ,  4G001BB32 ,  4G001BB36 ,  4G001BB37 ,  4G001BB43 ,  4G001BB48 ,  4G001BB51 ,  4G001BB52 ,  4G001BC13 ,  4G001BC52 ,  4G001BC62 ,  4G001BD03 ,  4G001BD14 ,  4G001BD16 ,  5F036AA01 ,  5F036BB08 ,  5F036BD14
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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