特許
J-GLOBAL ID：200903033231840746
位置測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-116419
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167642
出願日： 1992年05月08日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 測定目盛板のホルダー本体が付属する対象物体の熱膨張係数に合っている位置測定装置を提供する。【構成】 第一対象物体1に連結する走査ユニット6が、ホルダー本体7aに配設された測定目盛板14の目盛を走査し、ホルダー本体7aが熱膨張係数の異なる補助ホルダー17aに固定連結し、補助ホルダーを含めたホルダー本体の合成熱膨張係数が付属する第二対象物体2の熱膨張係数に等しいように、ホルダー本体7aと補助ホルダー17aが設計されている。
請求項（抜粋）：
第一対象物体に連結する走査ユニットが、第二対象物体に固定されているホルダー本体に配設されている測定目盛板を走査し、ホルダー本体と第二対象物体が異なった熱膨張係数を有する、二つの対象物体の相対位置を測定する位置測定装置、特に気密にされている位置測定装置において、ホルダー本体7が補助ホルダー17に固定連結し、この補助ホルダーの熱膨張係数が前記ホルダー本体7の熱膨張係数とは異なり、補助ホルダー17を含めたホルダー本体7の合成熱膨張係数が付属する第二対象物体2の熱膨張係数に等しくなるように、ホルダー本体7と補助ホルダー17の断面が設計されていることを特徴とする位置測定装置。
IPC (2件)：
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