特許

J-GLOBAL ID：200903033232591812

微粒子人工結晶の製造装置および製造方法

発明者： 布施 晃広
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (2件)： 磯村 雅俊 ,  渡邉 昌幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-276735
公開番号（公開出願番号）：特開2004-117455
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】クラックなどの欠陥のない高品質な微粒子人工結晶を制御性良く得るための製造装置および製造方法を提供すること。【解決手段】容器101に微粒子102を分散させた分散液103が入っている。上昇装置104に連結した基板105が保持され、分散液102中に浸漬している。この基板に対し、液面の直上付近に気流を噴射できるようにノズル106を設ける。分散液103に浸漬された基板が上方に引き上げられることによって、基板の表面に微粒子を含んだ液膜が形成される。引き上げられた基板に付着して膜状になった微粒子に対し気流を噴射することによって乾燥工程の速度および乾燥領域の移動方向を制御する。これにより、乾燥に伴う体積収縮によって引き起こされる構造上の歪を乾燥が完了していない領域にとどめることができ人工結晶におけるクラックなどの欠陥の発生を効果的に防止する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

微粒子を原料とした人工結晶の製造装置において、少なくとも微粒子が分散した分散液を基板に供給する手段と、基板に供給された該分散液に対し気流を掃引しながら当てる手段を具備することを特徴とする微粒子人工結晶の製造装置。

IPC (2件)：

G02B6/12 ,  G02B6/13

FI (3件)：

G02B6/12 Z ,  G02B6/12 N ,  G02B6/12 M

Fターム (3件)：

2H047PA00 ,  2H047QA01 ,  2H047RA04