特許
J-GLOBAL ID:200903033237334109

光スペクトラムアナライザ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 東野 博文
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-295294
公開番号(公開出願番号):特開平11-132847
出願日: 1997年10月28日
公開日(公表日): 1999年05月21日
要約:
【要約】【課題】 小型化、低価格で高速測定が可能な光スペクトラムアナライザを実現する。【解決手段】 入射光を回折させて波長毎の回折光を検出する光スペクトラムアナライザにおいて、入射光を平行光にして反射するコリメータミラーと、このコリメータミラーからの反射光を回折させる回折格子と、この回折格子からの波長毎の回折光を収束光として反射させる集光ミラーと、集光ミラーからの各々の収束光の反射角を変化させることにより回折光を走査する走査ミラーと、この走査ミラーからの反射光のうちでスリットを通過した回折光を検出する光検出器とを設ける。
請求項(抜粋):
入射光を回折させて波長毎の回折光を検出する光スペクトラムアナライザにおいて、前記入射光を平行光にして反射するコリメータミラーと、このコリメータミラーからの反射光を回折させる回折格子と、この回折格子からの波長毎の回折光を収束光として反射させる集光ミラーと、前記集光ミラーからの各々の収束光の反射角を変化させることにより前記回折光を走査する走査ミラーと、この走査ミラーからの反射光のうちでスリットを通過した回折光を検出する光検出器とを備えたことを特徴とする光スペクトラムアナライザ。
IPC (2件):
G01J 3/18 ,  G01J 3/06
FI (2件):
G01J 3/18 ,  G01J 3/06
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭62-047524
  • 特開昭63-201539

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