特許

J-GLOBAL ID：200903033239873260

表面元素分析方法及び装置

発明者： 劉 紫園 ,  森下 忠隆
出願人/特許権者： 財団法人国際超電導産業技術研究センター
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-059184
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261960
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 X線全反射分光法による表面元素分析において、試料の表面を直接励起することなく、つまり、島状被覆物体を励起したときに放射される蛍光X線が試料表面で全反射されるときの臨界角を測定して前記試料表面の元素を同定する。また、励起線の入射角は制限がなく、試料の表面の粗面(凹凸がある面)に影響されないで試料表面の元素を同定する。【構成】 試料表面に蛍光X線発生源となる物体をその被覆度が1未満の島状被覆物体となるように堆積し、その島状被覆物体を励起したときに放射される蛍光X線が試料表面で全反射されるときの臨界角を測定して前記試料表面の元素を同定する表面元素分析方法及び装置である。

請求項（抜粋）：

試料表面に蛍光X線発生源となる物体をその被覆度が1未満の島状被覆物体となるように堆積し、その島状被覆物体を励起したときに放射される蛍光X線が試料表面で全反射されるときの臨界角を測定して前記試料表面の元素を同定することを特徴とする表面元素分析方法。