特許

J-GLOBAL ID：200903033242642229

単結晶の引き上げ装置

発明者： 三村 和弘
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-288432
公開番号（公開出願番号）：特開2000-119093
出願日： 1998年10月09日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：

【要約】【課題】単結晶を引き上げ装置に係合する際の発塵の成長結晶への混入を防ぎ、単結晶の成長への悪影響を少なくする。【解決手段】底面にシードチャック4の径および単結晶の被係合部9の径よりも若干大きい径の孔34を有する発塵落下防止体1を保持装置30に対し上下動自在な支持部材2L,2Rを介して保持装置30の下方側に配設する。

請求項（抜粋）：

種子結晶の下にネック部、くびれ部を有する被係合部、結晶成長部を順次形成するようにした単結晶の引き上げ装置であって、前記種子結晶を保持する上下移動可能なシードチャックと、前記シードチャックおよび前記被係合部が通過可能な孔が形成されるとともに、前記孔の回りに配設されて前記被係合部のくびれ部に係合する間隔だけ離間された複数の係合部材を有する上下移動可能な保持装置とを具え、前記シードチャックに保持された種子結晶を融液に接触させてから引き上げることによって前記種子結晶の下方側にネック部、被係合部、結晶成長部を順次形成し、この後シードチャックの上方側に待機されていた保持装置を前記複数の係合部材が前記被係合部のくびれ部に係合されるまで下降させ、前記係合部材を前記くびれ部に係合させてからシードチャックおよび保持装置を上方に移動させて単結晶の引き上げを行うようにした単結晶の引き上げ装置において、底面に前記シードチャックの径および前記被係合部の径よりも若干大きい径の孔を有する発塵落下防止体を前記保持装置に対し上下動自在な支持部材を介して前記保持装置の下方側に配設するようにしたことを特徴とする単結晶の引き上げ装置。

IPC (4件)：

C30B 15/30 ,  C30B 29/06 502 ,  C30B 29/06 ,  H01L 21/208

FI (4件)：

C30B 15/30 ,  C30B 29/06 502 F ,  C30B 29/06 502 H ,  H01L 21/208 P

Fターム (14件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG12 ,  4G077PG01 ,  5F053AA12 ,  5F053AA13 ,  5F053BB04 ,  5F053BB60 ,  5F053DD01 ,  5F053FF04 ,  5F053GG01 ,  5F053LL10 ,  5F053RR20