特許
J-GLOBAL ID：200903033246095290
表面欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川▲崎▼ 研二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-235508
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101131
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 複写機用の各種小型ロール部品の表面欠陥検査を的確に行う。【構成】 円筒状面を有する検査ロール51に、この円筒状面の軸心に略直交する方向からスリット光を放射する直管蛍光灯11と、この円筒状面の軸心に対して30°以下の角度で交差する受光軸を有するラインセンサ28とを設けた。
請求項（抜粋）：
円筒状面を有する被検査体に、この円筒状面の軸心に略直交する方向からスリット光を放射する照射装置と、前記円筒状面の軸心に対して30°以下の角度で交差する受光軸を有する受光素子とを具備することを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G03G 21/00
