特許

J-GLOBAL ID：200903033248184435

ベントガス流中の塩化物の回収法

発明者： リチャード アンソニー バージ ,  オーエン アルバート ヘング ,  トッド エリック ランジ
出願人/特許権者： ヘムロック・セミコンダクター・コーポレーション
代理人 (1件)： ウオーレン・ジー・シミオール
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-042637
公開番号（公開出願番号）：特開平7-315829
出願日： 1995年03月02日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：

【要約】【目的】 ガスベント流中に存在する塩を回収する方法の提供。【構成】 該方法は、塩化水素およびヒドロシランからなるガスベント流を塩素化触媒と接触させて、より塩素化したシランを回収することからなる。ヒドロシランの塩素化は、生成するクロロシランの置換基として塩化水素の塩素を捕え、そして易凝縮性クロロシランを提供する。

請求項（抜粋）：

(A)塩化水素および式HaSiCl4-a(式中、aは1〜4である)によって表わされるシランからなるベントガスを塩素化触媒と30°〜400°Cの範囲内の温度で接触させることによって、Siに結合した水素を塩素と置換させて、より塩素化されたシランを生成し;そして(B)該より塩素化したシランを回収することからなることを特徴とする塩化水素としてベントガス流中に存在する塩化物イオンの回収法。

IPC (4件)：

C01B 33/107 ,  B01D 53/86 ZAB ,  B01J 23/40 ,  B01J 23/44

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-367507