特許
J-GLOBAL ID：200903033249903192
高温試験用プローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244104
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035775
出願日： 1992年08月19日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 プローブカード本体が膨張したり、反ったりせず、プローブ針とICウエハに形成されたパッドとがずれないようにする。【構成】 開口110 が設けられたプローブカード本体100 と、開口110 に臨んで設けられた複数本のプローブ針300 と、プローブカード本体100 の裏面側に設けられた対流熱移動阻止用プレート400 とを有しており、プローブカード本体100と対流熱移動阻止用プレート400 との間には隙間が設けられ、隙間には断熱材600 が充填されている。また、プローブカード本体100 の表面側には、プローブカード本体100 の反りを抑制する反り抑制部材500 が設けられている。
請求項（抜粋）：
ICウエハを高温状態にして行う試験に用いられる高温試験用プローブカードにおいて、開口が設けられたプローブカード本体と、前記開口に臨んで設けられた複数本のプローブ針と、前記プローブカード本体の裏面側に設けられた対流熱移動阻止用プレートとを具備したことを特徴とする高温試験用プローブカード。
IPC (2件)：
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