特許

J-GLOBAL ID：200903033250767170

エッチング液

発明者： 森川 佳彦 ,  山崎 宜広 ,  千疋 一則
出願人/特許権者： 株式会社荏原電産
代理人 (1件)： 藤井 紘一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-356371
公開番号（公開出願番号）：特開平11-172467
出願日： 1997年12月10日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】【課題】 塩素の混入によりエッチング速度が大きく低下することが無く、また、混入した塩素の濃度や過剰の過酸化水素の濃度でエッチング速度が大きく変動することの無いエッチング液を提供する。【解決手段】 主剤として硫酸等のオキソ酸と過酸化水素を用いるエッチング液であって、モノクロロ酢酸、ジクロロ酢酸あるいはトリクロロ酢酸等から選ばれた少なくとも1種のハロゲン化カルボン酸と、アミノピリジン、アミノピリミジン、アミノトリアジンあるいはアミノトリアゾールから選ばれた少なくとも1種の構成環中に窒素を含みかつアミノ基を有する複素環状化合物とを添加した。

請求項（抜粋）：

過酸化物群から選ばれた過酸化物若しくはその誘導体、および、下記の式(1)で表されるオキソ酸群から選ばれた酸若しくはその誘導体を有する主剤と、ハロゲン化カルボン酸を有する速度安定剤と、を含むことを特徴とするエッチング液。XOm(OH)n , Hn XO(m+n) ... (1)ただし、XはS,P,N等の中心原子、Oは酸素、Hは水素、mは0以上、nは1以上の整数である。

IPC (3件)：

C23F 1/16 ,  H01L 21/308 ,  H05K 3/06

FI (3件)：

C23F 1/16 ,  H01L 21/308 F ,  H05K 3/06 N