特許
J-GLOBAL ID:200903033251631124

脱気装置及び超音波洗浄装置の脱気装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鷺 健志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-001214
公開番号(公開出願番号):特開平9-187603
出願日: 1996年01月09日
公開日(公表日): 1997年07月22日
要約:
【要約】【課題】小型で優れた脱気効率を有する脱気装置を提供する。【解決手段】密封槽1と、液体供給手段3と、液体取り出し手段5と、減圧手段9とからなり、密封槽1内を減圧して液体2を脱気する。着泡部材10を、密封槽1内の液体2に浸漬させて設ける。着泡部材10を軸支する軸支手段11と、回転駆動する回転駆動手段15とを設ける。着泡部材10を回転駆動して付着した気泡を密封槽1内の減圧空間に案内、離脱させる。密封槽1の底部に振動手段19を設ける。振動手段19により密封槽1及び着泡部材10を振動させ付着した気泡を離脱させる。超音波洗浄装置21の超音波洗浄槽22に浸漬された密封槽1と、洗浄液供給手段25と、洗浄液取り出し手段28と、減圧手段9とからなり、密封槽1内を減圧して洗浄液23を脱気する。超音波振動子24から超音波を放射して密封槽1及び着泡部材10を振動させ付着した気泡を離脱させる。
請求項(抜粋):
密封槽と、該密封槽に脱気する液体を供給する液体供給手段と、脱気された液体を該密封槽から取り出す液体取り出し手段と、該密封槽内を減圧する減圧手段とからなり、該密封槽内を該減圧手段により減圧して、該密封槽内に収容された液体に溶存する気体を該密封槽内の減圧空間に放出させて脱気する脱気装置において、該密封槽内に供給された液体にその一部が浸漬され、該液体中に発生する気泡が付着する着泡部材と、該着泡部材を回転自在に軸支する軸支手段と、該軸支手段に軸支された該着泡部材を回転駆動する回転駆動手段とを設け、該着泡部材を回転駆動することにより該着泡部材に付着した気泡を該密封槽内の減圧空間に案内して離脱させることを特徴とする脱気装置。
IPC (3件):
B01D 19/00 101 ,  B01D 19/00 ,  B08B 3/12
FI (3件):
B01D 19/00 101 ,  B01D 19/00 C ,  B08B 3/12 Z

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