特許

J-GLOBAL ID：200903033255828038

研磨方法

発明者： 両毛 克己 ,  藤山 正昭 ,  山田 圭介
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-089801
公開番号（公開出願番号）：特開平7-068460
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：

【要約】【目的】 内因性突起を有する被研磨体から被研磨面を傷つけずに突起のみを被研磨面から除去する研磨方法の提供。【構成】 表面に内因性突起を有する被研磨体と支持体上に研磨剤粒子と結合剤を主体とする研磨層を有する研磨テープとを該被研磨体の被研磨面と該研磨テープの該研磨層とが摺接するように互いに対向する方向に接動させて前記内因性突起を研削する研磨方法。

請求項（抜粋）：

表面に内因性突起を有する被研磨体と支持体上に研磨剤粒子と結合剤を主体とする研磨層を有する研磨テープとを該被研磨体の被研磨面と該研磨テープの該研磨層とが摺接するように互いに対向する方向に接動させて前記内因性突起を研削する研磨方法。