特許

J-GLOBAL ID：200903033262139973

電子線プローブマイクロアナライザ

発明者： 晝馬 輝夫 ,  柳沢 雄太郎
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-017723
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210927
出願日： 1996年02月02日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】 被測定試料を三次元的に分析することができる電子線プローブマイクロアナライザを提供する。【解決手段】 本発明は、電子線(α)を自らの中空部を通過させて被測定試料(M)へ照射させる細管(26)と、この細管を支持すると共に、電子線の照射方向に沿って細管の位置を変化させる第1の微調整機構(24)と、被測定試料を載せる試料受皿(35)を有し、この試料受皿の位置を3次元的に移動させることにより、被測定試料に対する電子線の照射位置を変化させる第2の微調整機構(29)と、特性X線が入射する位置に配置され、特性X線のエネルギーを弁別しながら特性X線の強度を計測するX線検出手段(37〜39)とを備えている。

請求項（抜粋）：

被測定試料に電子線を照射し、その被測定試料の電子線照射部分から放出される特性X線を検出することにより、その被測定試料中の原子の分布、量等を調べる電子線プローブマイクロアナライザにおいて、前記電子線を自らの中空部を通過させて前記被測定試料へ照射させる細管と、前記細管を支持すると共に、前記細管の位置を変化させる第1の微調整機構と、前記被測定試料を載せる試料受皿を有し、前記試料受皿の位置を3次元的に移動させることにより、前記被測定試料に対する前記電子線の照射位置を変化させる第2の微調整機構と、前記特性X線が入射する位置に配置され、前記特性X線のエネルギーを弁別しながら前記特性X線の強度を計測するX線検出手段と、を具備することを特徴とする電子線プローブマイクロアナライザ。