特許

J-GLOBAL ID：200903033269115530

コントローラのIPアドレスが自動割付される半導体製造装置

発明者： 岡田 公紀 ,  伊藤 孝浩
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-181973
公開番号（公開出願番号）：特開2002-009779
出願日： 2000年06月16日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、処理チャンバ用装置コントローラ側でIPアドレスを再設定することなく、装置コントローラのIPアドレスが自動割付され、IPアドレスによって処理チャンバの連結位置が一意に決まる半導体製造装置の提供を目的とする。【解決手段】 本発明の半導体製造装置は、処理チャンバを本体部に連結する連結位置が設けられ、連結位置には、処理チャンバに対応した装置コントローラに割り当てられるIPアドレスが外部から取得可能な形で設定されているIPアドレス保持用コネクタが設けられ、対応した装置コントローラは、連結位置におけるIPアドレス保持用コネクタに適合してIPアドレス保持用コネクタからIPアドレスを取得するIPアドレス取得用コネクタを有する。

請求項（抜粋）：

半導体製造プロセスを実行する少なくとも1台の着脱可能な処理チャンバと、上記処理チャンバに処理対象物を出し入れする搬送システムと、上記処理チャンバを制御する処理チャンバ用装置コントローラ、上記搬送システムを制御する搬送システム用装置コントローラ、上記装置コントローラを統合する機器コントローラ、並びに、上記装置コントローラ及び上記機器コントローラが接続されるネットワークを有する制御システムとを含み、上記処理チャンバを本体部に連結する少なくとも一個所の連結位置が設けられている半導体製造装置であって、上記連結位置には、連結された処理チャンバに対応した処理チャンバ用装置コントローラに割り当てられるIPアドレスが、外部から取得可能な形で設定されているIPアドレス保持手段が設けられ、上記対応した処理チャンバ用装置コントローラは、上記連結位置における上記IPアドレス保持手段に適合して上記IPアドレス保持手段から上記IPアドレスを取得するIPアドレス取得手段を有することを特徴とする半導体製造装置。

IPC (2件)：

H04L 12/28 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

H01L 21/02 Z ,  H04L 11/00 310 Z

Fターム (11件)：

5K033AA03 ,  5K033AA09 ,  5K033BA03 ,  5K033DA01 ,  5K033DA15 ,  5K033DB01 ,  5K033DB04 ,  5K033DB17 ,  5K033EA07 ,  5K033EC01 ,  5K033EC03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 通信方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-018868   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特開昭59-144931
  
• 特開昭59-144931