特許
J-GLOBAL ID：200903033270078193
光学的外観検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-316361
公開番号（公開出願番号）：特開平7-168132
出願日： 1993年12月16日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 光学系により発生する強度分布不均一性による影響がほとんど無く、正確な認識が行える光学的外観検査装置を提供することを目的とする。【構成】 各検査対象に対応したN×M個の補正値を記憶している第1のメモリと、撮像装置であるテレビカメラ1の出力信号を各検査対象毎にN×M個の領域に分割し前記第1のメモリに記憶している対応する補正値とを掛けあわせる乗算器19と、光電変換装置11の出力信号により第1のメモリの内容を書き換える制御装置21とを設ける。【効果】 光源に不均一な強度分布及び液晶ディスプレイのガラス基板等による干渉縞があっても、相関値のばらつきが生じないように、制御装置21により第1のメモリの補正値を制御するため、良品と不良品の選別を実時間で正確に行なうことができる。
請求項（抜粋）：
N×M個の検査対象を撮像する撮像装置と、前記撮像装置により撮像された画像を表示する第1の空間光変調素子と、前記第1の空間光変調素子を照射する光源と、前記第1の空間光変調素子をその前側の焦点面とする第1のレンズと、前記第1のレンズの後側の焦点面に配置され参照画像のマッチトフィルタを表示する第2の空間光変調素子と、前記第2の空間光変調素子をその前側の焦点面とする第2のレンズと、前記第2のレンズの後側の焦点面に配置され検査対象と参照画像とのN×M個の相関関数を検出する光電変換装置と、前記光電変換装置により検出された相関関数毎に対応して設けた検査基準となるN×M個のしきい値を記憶しているメモリと、前記光電変換装置の出力信号を各相関関数毎にN×M個の領域に分割し前記メモリの対応するしきい値との比較を行う比較装置を備えていることを特徴とする光学的外観検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G06F 15/62 400
, G06F 15/70 460 A
