特許

J-GLOBAL ID：200903033270961186

真空雰囲気内観察装置

発明者： 熊谷 正昭
出願人/特許権者： 株式会社エス・ケー・ディー・オール
代理人 (1件)： 堀 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-217466
公開番号（公開出願番号）：特開2004-064253
出願日： 2002年07月26日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】真空雰囲気内で観察対象を撮影する観察装置の撮影窓に製造工程等に起因する塵等が付着するのを防止する真空雰囲気内観察装置を提供する。【解決手段】本装置は、真空雰囲気内にある観察対象に対面する撮影窓211を有し、撮影窓を通して観察対象を撮影してその画像を出力する撮像部200と、その撮影窓を遮蔽する位置と撮影窓を遮蔽しない位置との間を移動可能な遮蔽部材252と、遮蔽部材を撮影窓を遮蔽する位置と撮影窓を遮蔽しない位置との間で変位させる位置決め機構250とを備えている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

真空雰囲気内にある観察対象に対面する撮影窓を有し、該撮影窓を通して前記観察対象を撮影してその画像を出力する撮像手段と、 前記撮影窓を遮蔽する位置と遮蔽しない位置との間を移動可能な遮蔽部材と、 該遮蔽部材を、前記撮影窓を遮蔽する位置と遮蔽しない位置とのいずれかに設定する位置決め構構と を備えたことを特徴とする真空雰囲気内観察装置。

IPC (2件)：

H04N5/225 ,  G03B15/00

FI (4件)：

H04N5/225 C ,  H04N5/225 Z ,  G03B15/00 P ,  G03B15/00 S

Fターム (8件)：

4M106AA01 ,  4M106DH11 ,  5C022AA03 ,  5C022AC66 ,  5C022AC74 ,  5C022AC75 ,  5C022AC78 ,  5C022CA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-246447   出願人：株式会社ムサシノエンジニアリング
• 特開昭63-122933
  
• 画像監視装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-185832   出願人：三菱電機エンジニアリング株式会社
• 特開昭63-122933