パターン画像処理装置及び画像処理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-008711
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220077
出願日： 1994年01月28日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】同一又は類似するパターンが繰り代えされるSEM画像におけるパターンの比較・検出をパターンの形状で行なうのではなく面積で行なうことにより汎用プロセッサを用いて精確かつ迅速に行なう。【構成】 SEMにより撮影されたアナログ画像データは、ディジタル画像に変換された後、空間フィルタリング処理・ヒストグラム処理・しきい値の設定・三値化処理・ノイズ除去等を施される。この三値化された画像データにおけるパターンの面積をラベリング及び演算処理により算出し、基準となる面積値と比較してパターンを順次検出していく。【効果】特徴のないパターンであっても面積値からパターン認識を行なうことができるので精確かつ迅速にパターン画像の検出認識が可能となる。

請求項（抜粋）：

走査型電子顕微鏡により捕らえられた繰り返しパターンよりなるアナログ画像データをディジタル画像データに変換するアナログ-ディジタル変換手段と;所定のフィルタ係数を用いて前記ディジタル画像データを空間フィルタリング処理して平滑化された空間フィルタリング画像データを得る空間フィルタリング処理手段と;前記空間フィルタリング画像データを構成する画素をその濃淡度に応じて分類処理するヒストグラム処理手段と;前記ヒストグラム処理手段により分類された画素データのヒストグラムを用いて判別規準法により自動的にヒストグラムのクラスを分離する濃淡値を検出し、この値をスライスレベルとして設定するしきい値設定手段と;前記しきい値設定手段により設定されたしきい値としてのスライスレベルを用いて前記画像データを三値化処理してパターン表面部,パターンテーパ部及びパターン底部の3つの濃淡領域の画像データを得る三値化処理手段と;前記三値化処理手段により処理された三値化画像データにおけるノイズ及び擬似パターンを収縮処理及び拡大処理を繰り返すことにより除去するノイズ除去手段と;前記ノイズ除去手段によりノイズ及び擬似パターンが除去された三値化画像データに含まれる繰り返しパターンにおいて特定の濃度により示される1つ1つのパターンをラベリング処理により選択し、それぞれの面積値を算出するパターン面積算出手段と;検出対象としての前記繰り返しパターンを構成する1つのパターンの基準画像の面積を基準面積値として記憶する基準画像記憶手段と;そして前記パターン面積算出手段により求められた各パターン毎の面積値と前記基準画像記憶手段に記憶されている前記基準画像の前記基準面積値とを比較して複数のパターンの中から最も近似する面積値を有するパターンを検出するパターン比較・検出手段と;を備えるパターン画像処理装置。

IPC (6件)：

G06T 7/00 , G01B 11/24 , G03F 1/08 , G06T 5/00 , G06T 5/20 , G06T 7/60

FI (5件)：

G06F 15/62 405 A , G06F 15/68 310 J , G06F 15/68 400 A , G06F 15/70 355 , G06F 15/70 460 E

前のページに戻る