特許
J-GLOBAL ID：200903033273220578
光記録媒体誘電保護膜形成用スパッタリングタ-ゲット、光記録媒体誘電保護膜およびタ-ゲット製造用硫化亜鉛粉末
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243055
公開番号（公開出願番号）：特開2000-144397
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】 硫化亜鉛を主成分とする焼結体からなる光記録媒体誘電保護膜形成用スパッタリングターゲットおよび硫化亜鉛を主成分とする光記録媒体誘電保護膜を提供する。【解決手段】 硫酸根の含有量を200ppm以下に制限した硫化亜鉛を主成分とする焼結体からなる光記録媒体誘電保護膜形成用スパッタリングターゲット、硫酸根の含有量を100ppm以下に制限した硫化亜鉛を主成分とする光記録媒体誘電保護膜および硫酸根の含有量を900ppm以下に制限した前記光記録媒体誘電保護膜形成用スパッタリングターゲットを製造するための硫化亜鉛粉末。
請求項（抜粋）：
硫化亜鉛を主成分とする焼結体からなる光記録媒体誘電保護膜形成用スパッタリングターゲットにおいて、硫酸根の含有量を200ppm以下に限定したことを特徴とする光記録媒体誘電保護膜形成用スパッタリングターゲット。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, C04B 35/547
, G11B 7/26 531
C23C 14/34 A
, G11B 7/26 531
, C04B 35/00 T
