特許

J-GLOBAL ID：200903033281162420

導波路型波長変換装置およびその製造方法

発明者： 水由 明 ,  羽鳥 正美
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-163790
公開番号（公開出願番号）：特開2000-352730
出願日： 1999年06月10日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】 パッケージに密封された導波路型波長変換装置において、パッケージ内の汚染物質による出力低下を防止して安定な光出力を得、信頼性を向上させる。【解決手段】 密封パッケージに、半導体レーザ素子10と、導波路型光波長変換素子15と、図示されないペルチェとサーミスタを備えた導波路型波長変換装置において、密封する前に、素子が配置されたパッケージ内部をオゾンによりクリーニングし、その後、パッケージを例えば100ppmの濃度のオゾン雰囲気で気密封止する。

請求項（抜粋）：

密封されたパッケージ内に、半導体レーザ素子と導波路型波長変換素子とを備えた導波路型波長変換装置において、前記密封されたパッケージの内部がオゾンによりクリーニングされており、前記密封されたパッケージの内部にオゾンを含むことを特徴とする導波路型波長変換装置。

IPC (2件)：

G02F 1/37 ,  H01S 5/022

FI (2件)：

G02F 1/37 A ,  H01S 3/18 612

Fターム (6件)：

2K002AB12 ,  2K002CA03 ,  2K002DA06 ,  2K002HA20 ,  5F073AB23 ,  5F073FA30