特許

J-GLOBAL ID：200903033286976442

固体撮像素子および固体撮像素子の駆動方法

発明者： 鈴木 啓太
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-054166
公開番号（公開出願番号）：特開2003-258234
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：

【要約】【課題】 読出し電圧の低電圧化、電荷転送時の電荷の不要な読出しの防止、転送電極に読出し高電圧を印加することによるノイズ発生の防止を実現する。【解決手段】 半導体基板106上に光センサー104がマトリクス状に配列され光センサーの列ごとに垂直電荷転送レジスター4が延設されている。垂直電荷転送レジスター4の第1の転送電極6は読出しゲート部130側には延出せず、金属材料による遮光膜14の側部18が読出しゲート部130の上に絶縁膜126を介して配置されている。光センサー104から電荷を読み出す場合には、遮光膜14を読出しゲート電極として用い遮光膜14に読出し電圧を印加する。ゲート電極として機能する側部18は読出しゲート部130全幅に延在しているので、従来より低電圧で読出しを行える。また転送時に読出しゲート部130に電圧は印加されず、かつ電荷読出し時に転送電極に高電圧を印加する必要がない。

請求項（抜粋）：

列を成す光センサーと、同光センサーの列に沿って延在する電荷転送レジスターと、前記光センサーと前記電荷転送レジスターとの間に介在し前記光センサーが受光して生成した信号電荷を前記電荷転送レジスターに読み出す読み出しゲート部と、前記電荷転送レジスターを覆う遮光膜とを半導体基板上に形成して成り、前記光センサーがそれぞれ生成した信号電荷を前記電荷転送レジスターにより転送する固体撮像素子であって、前記遮光膜は導電材料により形成され、一部が前記読み出しゲート部の表面に絶縁膜を介して対向していることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/148 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (4件)：

H04N 5/335 P ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 B ,  H01L 27/14 D

Fターム (20件)：

4M118AA05 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA04 ,  4M118DA03 ,  4M118DB03 ,  4M118DB08 ,  4M118EA15 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA32 ,  4M118FA35 ,  4M118GB06 ,  4M118GB11 ,  4M118GB15 ,  5C024CX03 ,  5C024CY47 ,  5C024GX01 ,  5C024GZ36