特許

J-GLOBAL ID：200903033290123705

インピーダンス整合方法および装置ならびに半導体製造装置

発明者： 神崎 直人
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059783
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260096
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 インピーダンスの変化によりプラズマの着火ポイントがずれても自動的にインピーダンス整合を行い、プラズマを確実に着火させる。【解決手段】 自動的に予め設定された着火ポイントにインピーダンス整合器6のスタブを移動させた後、プラズマの着火を行う。パワーモニタ5はマイクロ波の反射波をモニタし、この反射波がしきい値よりも低いと、プラズマが着火したと判断し、しきい値よりも高いと、未着火と判断する。未着火の場合、着火領域内で着火ポイントを中心に規則正しくインピーダンス整合の範囲を広げ、しきい値よりも反射波が低くなるポイントを検索し、プラズマを確実に着火させる。その後、再びスタブを移動させインピーダンス整合ポイントに移動させ、同様に、インピーダンス整合領域の範囲内でしきい値よりも反射波が低くなるポイントを検索し、プラズマが安定するインピーダンス整合のポイントへの誘導を行う。

請求項（抜粋）：

予め設定されたインピーダンスを基準としてプラズマが着火するインピーダンスの整合ポイントを探索する工程と、そのプラズマの着火が確認されると、安定したプラズマ放電を形成させる予め設定された基準となるインピーダンスの整合ポイントに自動的に移行させる工程と、移行された前記整合ポイントを基準として形成されたプラズマ放電を安定させるインピーダンスの整合ポイントを自動的に探索する工程とを有したことを特徴とするインピーダンス整合方法。

IPC (6件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 1/00 104 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (7件)：

H05H 1/46 A ,  H05H 1/46 B ,  C23C 16/50 ,  C23F 1/00 104 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 A