特許
J-GLOBAL ID：200903033291774564
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134741
公開番号（公開出願番号）：特開平5-333056
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】本発明は、ゲージ部1とセラミック基板を接着する接着剤の厚さを規定することにより熱応力の影響を低減し温度特性,信頼性,精度を向上させた加速度センサを提供することにある。【構成】加速度Gを検出するゲージ部1、その信号を電子回路12に与えて処理することで、加速度Gに比例した出力電圧VOを発生する加速度センサにおいて、前記ゲージ部1とセラミック基板との接着の接着剤の厚さを規定する構造とした。接着剤の厚さは、基板の溝(凸凹)の深さ,微小粒子の粒径,金属細線の線径,厚膜導体の厚さなどを用いて規定する。
請求項（抜粋）：
厚膜導体を印刷したセラミック基板とそのセラミック基板に接着手段を用いて接着された加速度検出素子であるゲージとを備えた加速度センサにおいて、前記接着手段は前記セラミック基板と、前記センサゲージの熱膨張係数差による熱歪を緩和するために、前記接着剤の厚さを0.01mm以上0.1mm以下に定めたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
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