特許
J-GLOBAL ID：200903033296548384
ウェハプローバ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-350396
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201936
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 ウェハプローバにおけるプローバの傾斜状態等に対応して正確な測定を可能とし、かつ素子種類の変更に迅速に対応できるようにする。【構成】 ステージ5を上動させてウェハをプローブカード22に接触させ、接続リング21のポゴピン24を介してテスタに接続させる。また、スライド基板31を下動させてボゴピン24に電気接触させ、端子43、コネクタピン34を介してプローバ制御部3に電気接続する。プローバ制御部3ではステージ5を上昇させながらプローブカード22とコンタクト用ウェハ6aとの接触状態を順次検出し、その最初の接触高さと最後の接触高さとを記憶し、その高さの差を演算してプローブカード22の良否を検出し、ウェハ測定時には記憶された最後の接触高さ位置にステージ5を設定することで最適なウェハ測定が可能となる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハを載置して上下移動されるステージと、このステージの上方に配置され、ステージが上動されたときに前記半導体ウェハの電極に接触される多数本のプローブを備えたプローブカードと、このプローブカードに電気接続されるポゴピンを備えた接続リングと、この接続リング上に着脱可能に設置されて前記ポゴピンを介して前記プローブカードに電気接続されるテスタと、前記接続リング上に配設されて下動したときに前記ポゴピンの上端部に接触されるスライド基板と、前記ステージの上下移動を制御するとともに、その移動高さ位置を記憶でき、かつ前記プローブカードからの信号が入力されたときにプローブとウェハとの接触状態を検出可能なプローバ制御部とを備え、前記スライド基板はコンタクトパターンが形成されるとともに前記接続リングに対して上下移動でき、下動されたときに前記ポゴピンをコンタクトパターンを介して前記プローバ制御部に電気接続するように構成したことを特徴とするウェハプローバ。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
