特許
J-GLOBAL ID：200903033300495932
XYステージ及び平板状の被検査物の検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019961
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210645
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：
【要約】【課題】 大型の平板上の被検査物の表面上に形成された微細なパターンを、透過光を用いて検査する際の使用に適したXYステージの構造を提供する。【解決手段】 本発明のXYステージは、定盤1、定盤1の上をY軸方向に移動可能なYステージ3、及びYステージの上をX軸方向に移動可能なXステージ4を備え、平板状の被検査物50の表面側及び裏面側に配置された一対の検査機器8、9を用いて、被検査物50の表面に形成されたパターンを検査するXYステージにおいて、Xステージ4は、矩形の枠状5a、5b、6、7に構成され、被検査物50をその周辺部で保持する機能を備え、Yステージ3は、その中央付近にY軸と平行にスリット状の開口部10が形成されるとともに、その上表面に多数の空気噴出孔12を備え、空気噴出孔12から圧縮空気を吹出させて、被検査物50をYステージ3の上に浮上させることが可能なことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
定盤、定盤の上をY軸方向に移動可能なYステージ、及びYステージの上をX軸方向に移動可能なXステージを備え、平板状の被検査物の表面側及び裏面側に配置された一対の検査機器を用いて、被検査物の表面に形成されたパターンを検査するXYステージにおいて、前記Xステージは、矩形の枠状に構成され、被検査物をその周辺部で保持する機能を備え、前記Yステージは、その中央付近にY軸と平行にスリット状の開口部が形成されるとともに、その上表面に加圧気体噴出孔を備え、前記加圧気体噴出孔から加圧気体を吹出させて、被検査物をYステージの上に浮上させる機能を備えることを特徴とするXYステージ。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, H01L 21/66
, H01L 21/68
G01B 11/24 C
, H01L 21/66 J
, H01L 21/68 K
