タッチプローブ、信号処理回路および方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328868
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258008
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】機械加工されたコンポーネントの寸法をより正確に検査する。【構成】タッチプローブは引張および圧縮に感知する複数の圧電素子スタック50を備えている。複数の圧電素子スタック50はスタイラス支持部材12が繰り返し静止位置から変位する前に、スタイラス支持部材12に係る力を検知する。各圧電素子スタック50は引張および圧縮に対して最大感度軸を有する。各圧電素子スタック50の最大感度軸はプローブに対して傾斜しており、しかも、圧電素子スタック50対の一方の最大感度軸に対して傾斜している。

請求項（抜粋）：

固定構造体と、該固定構造体により、座標位置決めマシンの可動アームに支持可能なプローブと、前記固定構造体に対して、繰り返し静止位置に付勢されたスタイラス支持部材とを有し、前記スタイラス支持部材に屈撓力がかかったとき、前記スタイラス支持部材を前記繰り返し静止位置から変位させることができ、前記屈撓力が除かれたとき、前記スタイラス支持部材が繰り返し静止位置に戻り、付勢動作の方向は軸を規定し、前記固定構造体と前記スタイラス支持部材は、該スタイラス支持部材に保持されたスタイラスと、前記可動アームの間に少なくともロードパスを形成するタッチプローブにおいて、タッチプローブは引張および圧縮に感知する複数のセンサを備え、該複数のセンサは前記スタイラス支持部材が前記繰り返し静止位置から変位する前に、前記スタイラス支持部材にかかる力を検知し、前記各センサは引張および圧縮に対して最大感度軸を有し、前記センサが前記ロードパスに設けられており、対になっており、各センサ対の各センサの最大感度軸は(a) プローブ軸に対して傾斜しており、しかも、(b)ンサ対の一方の最大感度軸に対して傾斜していることを特徴とするタッチプローブ。

IPC (3件)：

G01B 7/00 , G01B 5/00 , G01B 21/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-118411
特開平4-339205
特開昭54-078164

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