特許

J-GLOBAL ID：200903033314775440

加速度センサ

発明者： 敦賀 紀久夫
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-200519
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062246
出願日： 1994年08月25日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 1個のセンサで直交する2軸方向の加速度を検出できる加速度センサを提供すること。【構成】 シリコンによる梁部11の一端を固定し他端にはシリコン錘12を形成して片持ち梁構造とすると共に、前記シリコン錘を加速度に応じて変位する可動電極部とする。該可動電極部には所定の間隔を介して固定電極部を対向させる。前記梁部には、その中心線と直交する第1の軸方向への変形をし易くするための第1の溝11-1と、前記第1の軸と直交する第2の軸方向への変形をし易くするための第2の溝11-2とを設けることにより、前記第1、第2の軸方向の加速度に応じて前記可動電極部が変位するようにした。

請求項（抜粋）：

シリコンによる梁部の一端を固定し他端には錘部を形成して片持ち梁構造とすると共に、前記錘部を加速度に応じて変位する可動電極部とし、該可動電極部には所定の間隔を介して固定電極部を対向させて前記可動電極部と前記固定電極部との間の静電容量の変化により加速度を検出する静電容量式の加速度センサであって、前記梁部には、その中心線と直交する第1の軸方向への変形をし易くするための第1の溝と、前記第1の軸と直交する第2の軸方向への変形をし易くするための第2の溝とを設けることにより、前記第1、第2の軸方向の加速度に応じて前記可動電極部が変位するようにしたことを特徴とする加速度センサ。