特許
J-GLOBAL ID：200903033324231251
オメガ型エネルギーフィルター
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-309049
公開番号（公開出願番号）：特開平9-147792
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 有効端面の考えを取り入れてなお生じる軌道のずれを簡便に補正できるようにする。【解決手段】 電子顕微鏡の電子光学系に組み込まれたオメガ型エネルギーフィルターにおいて、各磁石MA 、MB 、MC 、MD の端面1〜4を対称面に向かう方向に、有効端面に加えて移動させることによって、電子ビームの軌道のずれを補正する。さらに、磁石とクランプとの間の距離をDとした時、端面シフト量SはD2 に比例して増大させ、端面シフト量は、磁石の回転半径に逆比例し回転半径が大きくなるほどシフト量は小さくなるようにする。
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡の電子光学系に組み込まれたオメガ型エネルギーフィルターにおいて、各磁石の端面を対称面に向かう方向に、有効端面に加えて移動させることによって、電子ビームの軌道のずれを補正することを特徴とするオメガ型エネルギーフィルター。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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