特許

J-GLOBAL ID：200903033337495703

Co基軟磁性薄膜及びこれを用いた磁気ヘツド

発明者： 諏訪部 繁和 ,  常田 富士夫
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266698
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109533
出願日： 1991年10月16日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 700°C以上の耐熱性、1.5T以上の高い飽和磁束密度と、高透磁率、低磁歪定数、耐食性を有する磁性成膜を得て、それを磁気ギャップ形成面の少なくとも一方に用いた磁気ヘッドを構成することにより、磁気ディスク装置に適した磁気ヘッドを実現する。【構成】 CoxTauZrvCw(x,u,v,wは各々組成比の原子%。)で示される組成を有し、その組成範囲が、75≦ x ≦89,3 ≦ u ≦8,1 ≦ v ≦6,5 ≦ w ≦15,6 ≦ u+v ≦10,2/3 ≦ (u+v)/w ≦1.2,x+u+v+w=100であるCo基軟磁性薄膜。特に0.8≦(u+v)≦1.4で、組織中にfcc構造のCo、又はCo-Feと、Ta,Zrの炭化物が共存し、fcc構造のCoの(111)面が優先的に基板面に平行に配向している磁性薄膜。さらに、Coの一部をFeで置換したCo基軟磁性薄膜及びこの磁性膜を用いたコンポジット型の浮上式磁気ヘッド。

請求項（抜粋）：

CoxTauZrvCw(ただし、x,u,v,wは各々組成比を原子%で表す。)で示される組成を有し、その組成範囲が、75≦ x ≦893 ≦ u ≦81 ≦ v ≦65 ≦ w ≦156 ≦ u+v ≦102/3 ≦ (u+v)/w ≦1.2x+u+v+w=100であることを特徴とするCo基軟磁性薄膜。

IPC (5件)：

H01F 10/16 ,  C22C 19/07 ,  G11B 5/127 ,  G11B 5/23 ,  G11B 5/60