特許
J-GLOBAL ID：200903033339292923
基板端縁処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-046912
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263394
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 基板の端縁位置に偏差があっても正確に基板端縁に沿って処理を施す。【構成】 上側溶剤ノズル52、下側溶剤ノズル53、およびガスノズル54を有する4個の基板端縁洗浄ブロック10a〜10dが、それぞれ角型基板の四辺に沿って(Y方向に)移動することにより、角型基板の端縁に沿った処理が実行される。基板端縁洗浄ブロック10a〜10dは、更に角型基板の端縁の位置を検出する2個の位置センサ55、56を有するとともに、角型基板の端縁に接近または離間する方向(X方向)に移動可能である。位置センサ55、56による検出信号に基づいて、常に角型基板の端縁に追随するように基板端縁洗浄ブロック10a〜10dのX方向の位置が制御される。【効果】 基板端縁に追随しつつ処理が実行されるので、基板の載置位置に高い精度が要求されない。
請求項（抜粋）：
基板の端縁に沿って処理を施す基板端縁処理装置において、基板を保持する基板保持手段と、基板保持手段に保持された基板の端縁に所定の処理を施す端縁処理手段と、端縁処理手段に連結され、基板保持手段に保持された基板の端縁の位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段の検出結果にしたがって、基板保持手段に保持された基板の端縁に沿うように端縁処理手段を移動させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする基板端縁処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/02
, G03F 1/08
, H01L 21/027
, H01L 21/68
