特許
J-GLOBAL ID：200903033347406563

光重合性感光材料用剥離液及びそれを用いたリブパターンの形成方法

発明者：
水澤 竜馬

水澤 竜馬 について

, 
帯谷 洋之

帯谷 洋之 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-290203
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109167
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】PDPの製造に使用する光重合性感光材料を良好に溶解除去でき、高精度のリブパターンを形成できる光重合性感光材料用剥離液及び該剥離液を用いたリブパターンの形成方法を提供すること。【解決手段】(a)有機アミン、(b)第四級アンモニウム塩及び(c)水を含有することを特徴とする光重合性感光材料用剥離液及び該剥離液を用いたリブパターンの形成方法。
請求項（抜粋）：
(a)有機アミン、(b)第四級アンモニウム塩及び(c)水を含有することを特徴とする光重合性感光材料用剥離液。
IPC (3件)：
G03F 7/42 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02
FI (3件)：
G03F 7/42 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B
Fターム (20件)：
2H096AA30 ,  2H096BA05 ,  2H096CA16 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA30 ,  2H096JA04 ,  2H096LA03 ,  5C027AA09 ,  5C040GF19 ,  5C040GF20 ,  5C040JA02 ,  5C040JA15 ,  5C040JA16 ,  5C040JA17 ,  5C040JA23 ,  5C040KA14 ,  5C040KA17 ,  5C040KB02 ,  5C040MA24
引用特許：
審査官引用 (11件)
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