特許

J-GLOBAL ID：200903033349488443

荷電粒子ビーム装置

発明者： 宮田 貴久
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-064413
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260382
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 高速ブランキングと電圧の高安定度を得れるアライメント兼ブランキング機構を提供する。【解決手段】 ブランキングオフの期間、スイッチング素子24のスイッチ24Sがオフの状態となり、電極20Aへの印加電圧が0ボルトとなる。電極20Bには-2Vaボルト若しくは+2Vaボルトの電圧が印加されている。電子ビーム27は、制限アパーチャ21を通過してターゲットへ達する。ブランキングオンの期間、スイッチング素子24のスイッチ24Sがオンの状態となり、電極20Aに正電源22からの電圧(2Vbボルト)が印加される。電極20Bには-2Vaボルトの電圧が印加される。電子ビーム27は電極20A側に偏向され、制限アパーチャ21によりターゲット方向への通過が遮断される。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビーム発生源を有し、該発生源からの荷電粒子ビームをターゲット上の所定の位置に照射出来るように成した荷電粒子ビーム装置において、前記荷電粒子発生源とターゲットの間に、光軸を挟んで少なくとも1対の電極を対向配置し、一方の電極に、ブランキングオン,オフ信号からなるブランキング信号に基づくブランキング用の電圧を印加し、他方の電極に、アライメント用の電圧を印加するように成したブランキング機構を設けたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。

IPC (4件)：

H01J 37/305 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01J 37/305 B ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 C ,  H01L 21/30 541 B

Fターム (17件)：

2H097CA07 ,  2H097CA16 ,  2H097KA28 ,  2H097LA10 ,  5C033GG03 ,  5C033GG07 ,  5C034BB03 ,  5C034BB04 ,  5C034BB05 ,  5C034BB07 ,  5C034CC19 ,  5C034CD04 ,  5F056AA15 ,  5F056CB05 ,  5F056CB34 ,  5F056EA03 ,  5F056EA06