特許
J-GLOBAL ID：200903033350939300
像読取り装置、表面状態検査装置及び該装置を備える露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-178154
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035698
出願日： 1993年07月19日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 異物等の対象の見落としを無くす。【構成】 レーザー3からの光をレンズ4により平行光に変換した後、この平行光をレチクル1の表面に当該表面とほぼ平行な方向から入射させる。レチクル1の表面の異物10からの散乱光は屈折率分布型マイクロレンズアレイ6に入射し、レンズアレイ6により異物10の像が画素毎に不感帯を有する一次元イメージセンサー7上に向けられる。レンズアレイ6が正立等倍像を形成する時の2つの共役点(物点、像点)から互いにほぼ同じ距離I(エル)+αだけ離れた場所にレチクル1とセンサアレイ6が位置するよう構成し、異物のデフォーカス像をイメージセンサー7上に投影する。
請求項（抜粋）：
正立像を形成するレンズアレイにより形成した物体の像を画素毎に不感帯を有するセンサーアレイで読取る装置において、前記レンズアレイが正立等倍像を形成する時の2つの共役点(物点、像点)から互いにほぼ同じだけ離れた場所に前記物体と前記センサーアレイが位置するよう前記レンズアレイと前記センサーアレイを設けることを特徴とする像読取り装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G03F 7/20
, H01L 21/027
