電気光学装置、電気光学装置用の駆動基板、及びこれらの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-360183
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180893
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】高い電子/正孔移動度の単結晶シリコン層を比較的低温でかつ均一に成膜して、高性能ドライバ内蔵のアクティブマトリクス基板と、これを用いた表示用薄膜半導体装置等の電気光学装置とを製造する方法の提供が望まれている。【解決手段】第1の基板1の一方の面上にゲート電極11とゲート絶縁膜とからなるゲート部を形成し、さらに第1の基板1の一方の面上に、単結晶半導体と格子整合の良い物質層50を形成し、この物質層50上に半導体を成膜し、この半導体膜にレーザ照射処理することにより物質層50をシードとして単結晶半導体層7をヘテロエピタキシャル成長させ、この単結晶半導体層7に所定の処理を施してチャネル領域、ソース領域及びドレイン領域を形成し、チャネル領域の下部にゲート部を有し、周辺駆動回路部の少なくとも一部を構成するボトムゲート型の第1の薄膜トランジスタを形成する。

請求項（抜粋）：

画素電極が配された表示部と、この表示部の周辺に配された周辺駆動回路部とを第1の基板上に有し、この第1の基板と第2の基板との間に所定の光学材料を介在させてなる電気光学装置において、前記第1の基板の一方の面上にゲート電極とゲート絶縁膜とからなるゲート部が形成され、前記第1の基板の前記一方の面上に、単結晶半導体と格子整合の良い物質層が形成され、この物質層及び前記ゲート部を含む前記第1の基板上に、前記物質層上に形成された半導体からなる膜が、レーザ照射処理によって加熱溶融されさらに冷却固化されることにより、前記物質層をシードとしてヘテロエピタキシャル成長することによってなる単結晶半導体層が形成され、この単結晶半導体層をチャンネル領域、ソース領域及びドレイン領域とし、前記チャンネル領域の下部に前記ゲート部を有するボトムゲート型の第1の薄膜トランジスタが前記周辺駆動回路部の少なくとも一部を構成していることを特徴とする電気光学装置。

IPC (6件)：

G02F 1/136 500 , G09G 3/22 , H01L 27/15 , H01L 29/786 , H01L 21/336 , H05B 33/26

FI (8件)：

G02F 1/136 500 , G09G 3/22 E , H01L 27/15 B , H05B 33/26 Z , H01L 29/78 612 B , H01L 29/78 616 A , H01L 29/78 626 C , H01L 29/78 627 G

Fターム (135件)：

2H092GA59 , 2H092JA25 , 2H092JA26 , 2H092JA29 , 2H092JA38 , 2H092JA42 , 2H092JA44 , 2H092JA47 , 2H092JB13 , 2H092JB23 , 2H092JB32 , 2H092JB38 , 2H092JB51 , 2H092JB56 , 2H092JB61 , 2H092KA03 , 2H092KA12 , 2H092KA16 , 2H092KA18 , 2H092KB14 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA13 , 2H092MA17 , 2H092MA24 , 2H092MA27 , 2H092MA29 , 2H092MA35 , 2H092MA37 , 2H092MA41 , 2H092NA22 , 2H092NA25 , 2H092NA27 , 2H092PA06 , 3K007AB06 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007BB07 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA01 , 3K007DB03 , 3K007EC03 , 3K007FA01 , 3K007FA03 , 5C080AA06 , 5C080AA07 , 5C080AA10 , 5C080AA18 , 5C080BB05 , 5C080DD08 , 5C080DD30 , 5C080EE25 , 5C080FF11 , 5C080JJ01 , 5C080JJ02 , 5C080JJ03 , 5C080JJ06 , 5F110AA01 , 5F110AA06 , 5F110AA08 , 5F110AA18 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110BB06 , 5F110BB07 , 5F110BB08 , 5F110BB20 , 5F110CC02 , 5F110CC08 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD07 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110DD21 , 5F110EE03 , 5F110EE06 , 5F110EE23 , 5F110EE28 , 5F110EE30 , 5F110EE43 , 5F110EE44 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF24 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG25 , 5F110GG32 , 5F110GG34 , 5F110GG42 , 5F110GG52 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL06 , 5F110HL23 , 5F110HL27 , 5F110HM15 , 5F110HM18 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN25 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN36 , 5F110NN44 , 5F110NN46 , 5F110NN47 , 5F110NN54 , 5F110NN58 , 5F110NN73 , 5F110PP02 , 5F110PP03 , 5F110PP04 , 5F110PP05 , 5F110PP06 , 5F110PP10 , 5F110QQ09 , 5F110QQ11 , 5F110QQ19 , 5F110QQ28

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