特許
J-GLOBAL ID：200903033362276331
板状部材の表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西森 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-313936
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136465
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 ガラス板等の被検査物表面の傷等の欠陥を正確に検出することが可能な板状部材の表面検査装置を提供する。【構成】 ガラス板1からの略平行な反射光は、第1集光レンズ4の反射光ブロック5で遮光する。乱反射による低角散乱光は、第1集光レンズ4を通過するものの、第2集光レンズ6の背景光ブロック7で遮光する。この結果、スリキズ2による広角散乱光の多くが両集光レンズ4、6を通過して光電子倍増管8に入射する。
請求項（抜粋）：
ガラス板等の被検査物(1)の表面側に設けたレーザ光を発する光源(3)と、被検査物(1)の表面で反射したレーザ反射光線と略一致した光軸位置に配設した凸型の第1集光レンズ(4)と、第1集光レンズ(4)と略同一光軸で、かつ第1集光レンズ(4)の焦点位置がレンズ表面の略中心となるような位置に配設した凸型の第2集光レンズ(6)と、この第2集光レンズ(6)のレンズ表面中央部に着設した背景光ブロック(7)と、第2集光レンズ(6)が集光したレーザ光を観測する傷検出手段(8)を備えたことを特徴とする板状部材の表面検査装置。
IPC (2件)：
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