特許

J-GLOBAL ID：200903033369696697

光重合性組成物及びドライフィルムレジスト

発明者： 山田 守彦 ,  加藤 剛 ,  室伏 克己
出願人/特許権者： 昭和電工株式会社
代理人 (1件)： 矢口 平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-170073
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072915
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】 紫外光及び/または可視光線に対して高い感光性を有し、かつレジストとして高い特性を有する紫外光及び/または可視光線硬化型光重合性組成物及びそれを用いたドライフィルムレジストを提供すること。【解決手段】 (a)α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体から選ばれる少なくとも1種の単量体と他の単量体とを共重合させた熱可塑性重合体、(b)一分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する架橋性単量体及び、(c)下記一般式(1)で示される化合物と増感色素とからなる紫外光及び/または可視光感光性光重合開始剤とを必須成分とする、紫外光及び/または可視光線硬化型光重合性組成物及び、この組成物を主成分とするドライフィルムレジストにより上記課題が解決することを見いだした。【化1】

請求項（抜粋）：

(a)α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体から選ばれる少なくとも1種と他の単量体とを共重合させた熱可塑性重合体、(b)一分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する架橋性単量体及び、(c)紫外光及び/または可視光感光性光重合開始剤、を必須成分とする紫外光及び/または可視光線硬化型光重合性組成物であって、前記紫外光及び/または可視光感光性光重合開始剤が、下記一般式(1)で示される化合物と増感色素とからなることを特徴とする紫外光及び/または可視光線硬化型光重合性組成物。【化1】(式中、R1 、R2 、R3 及びR4 はそれぞれ独立して、アルキル基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基、複素環基、脂環基を表す。ただしR1 、R2、R3 及びR4 は同じであっても異なっていてもよい。Z+ は4級アンモニウムカチオン、4級ピリジニウムカチオン、4級キノリウムカチオン、ホスホニウムカチオン、スルホニウムカチオン、オキソニウムカチオン、ヨードニウムカチオンまたは金属カチオンを表す。)

IPC (10件)：

G03F 7/029 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F 4/52 ,  C08F265/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/28

FI (10件)：

G03F 7/029 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/50 ,  C08F 4/52 ,  C08F265/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/28 F