特許

J-GLOBAL ID：200903033371343130

外観検査装置

発明者： 中島 学
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-190163
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004656
出願日： 2001年06月22日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】外観検査処理のための処理手順の記述や処理項目の変更を簡単にする。【解決手段】外観検査用半導体チップ12に対する撮像手段16と、その移動手段24と、移動手段の制御部48と、撮像手段から得られたチップ外観に関する画像信号の処理部44と、チップ外観検査項目とその項目に対する画像処理手段での処理結果を、所定の欄に自動的に記述する表計算処理手段とを有する。表計算処理手段は表計算ソフトを利用し、画像処理ソフトを制御する処理情報を表計算ソフトの一部に組み込む。表計算ソフトを立ち上げることで画像処理ソフトを起動でき、画像処理ソフトで得られた処理結果は再び表計算ソフトの計算処理結果として利用する。表計算ソフトには検査情報が表計算用処理情報として記述されているため、記述内容を変更するだけで画像処理内容を変更できる。検査項目の追加、削除などの変更作業が非常に簡単であり、高度な専門知識が不要になる。

請求項（抜粋）：

外部電極が設けられた半導体チップの外観検査装置であって、検査台上に載置された外観検査用半導体チップの上面側に設けられた撮像手段と、この撮像手段を三次元的に移動させる移動手段と、この移動手段を制御するための制御手段と、上記撮像手段から得られた上記半導体チップの外観に関する画像信号を処理する画像処理手段と、上記半導体チップに対する外観検査項目と、この外観検査項目に対する上記画像処理手段での処理結果を、所定の欄に自動的に記述する表計算処理手段とを有することを特徴とする外観検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  G06T 1/00 305

FI (2件)：

G01N 21/956 A ,  G06T 1/00 305 A

Fターム (15件)：

2G051AA51 ,  2G051AA61 ,  2G051AB10 ,  2G051AB14 ,  2G051BB02 ,  2G051CA04 ,  2G051EA12 ,  2G051ED11 ,  2G051ED23 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DC09