特許

J-GLOBAL ID：200903033372966107

ブラシスクラバとブラシスクラブ方法

発明者： 小野寺 直子
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-220341
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074132
出願日： 1993年09月06日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 本発明はブラシスクラバの構造と、ブラシスクラバを用いた半導体装置の製造方法に関し、ウエハ表面上のパーティクルを除去するとともに、成膜中のパーティクルによって生じたウエハ表面上の突起物までをも除去することを目的とする。【構成】 ブラシ毛1が円板状、或いはドラム状のブラシ本体2に螺旋状、或いは放射状に植毛されているように、ブラシ毛1の先端に研磨材3がコーティングされているか、先端が研磨材3で構成されているように、ブラシ本体2にリンス液4を注入する機構を有するように、ブラシ本体2へのブラシ毛1の植毛密度がブラシ本体2のスクラバ中心に向かって少なくなる構造を有するように、半導体基板5のブラシスクラバに際し、研磨剤6を用い、機械的研磨と化学的研磨を併用するように構成する。

請求項（抜粋）：

ブラシ毛(1) が円板状、或いはドラム状のブラシ本体(2) に螺旋状、或いは放射状に植毛されていることを特徴とするブラシスクラバ。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304