特許

J-GLOBAL ID：200903033382199937

形状測定装置

発明者： 岡林 光正 ,  後藤 純夫 ,  永井 利明 ,  斉藤 勝
出願人/特許権者： ジューキ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-295254
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132734
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】検出精度の向上と装置の小型化を目的とする。【解決手段】レーザ光を発生するレーザダイオードと、前記レーザダイオードの光軸と交わる回転軸心を配置し、該回転軸心上に反射面を有する走査ミラーと、前記走査ミラーにより反射されたレーザ光が走査される被測定面と、前記被測定面からの反射光を前記走査ミラーの反射面に導く反射ミラーと、前記被測定面から走査ミラーまでの反射ミラーを含む光路上に配置された受光レンズを、該受光レンズの後側焦点距離と走査ミラーから被測定面までの距離とが一致するように配置し、前記レーザダイオードの光軸と同一平面上に受光光軸を有する一次元受光素子とを備えることにより、小型化を実現し、更に、パルス発光手段、ビームスプリッタ、位置検出手段を備えることにより、検出精度の向上を実現した。

請求項（抜粋）：

レーザ光を発生するレーザダイオードと、前記レーザダイオードの光軸と交わる回転軸心を配置し、該回転軸心上に反射面を有する走査ミラーと、前記走査ミラーにより反射されたレーザ光が走査される被測定面と、前記被測定面からの反射光を前記走査ミラーの反射面に導く反射ミラーと、前記被測定面から走査ミラーまでの反射ミラーを含む光路上に配置された受光レンズを、該受光レンズの後側焦点距離と走査ミラーから被測定面までの距離とが一致するように配置し、前記レーザダイオードの光軸と同一平面上に受光光軸を有する一次元受光素子とを備えることを特徴とする形状測定装置。