特許
J-GLOBAL ID：200903033401594036
ガラス基板用蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-223901
公開番号（公開出願番号）：特開平11-061379
出願日： 1997年08月20日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板を破損することなく安定且つ確実にガラス基板上に薄膜の蒸着ができるガラス基板用蒸着装置を提供する。【解決手段】 可撓性を有する少なくとも4枚の帯状板31、〜、34を個別独立に支持して枠状に組合せることにより蒸着マスクを形成していることから、ガラス基板100に撓みが生じても、この撓みによる変形に対応して帯状板31、〜、34も撓むこととなり、この帯状板31、〜、34からガラス基板100に対して応力が加えられなくなり、ガラス基板の破損を防止できる。
請求項（抜粋）：
ガラス基板の所定領域を蒸着マスクにより蒸着エリアとして規定し、当該蒸着エリアに対して薄膜を蒸着するガラス基板用蒸着装置において、前記蒸着マスクが、可撓性を有する帯状板を少なくとも4枚枠状に組合せてなり、当該各帯状板を個別に独立して支持して形成することを特徴とするガラス基板用蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/04
, C03C 17/00
, H01J 9/20
C23C 14/04 A
, C03C 17/00
, H01J 9/20 A
