ポジ型感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物及びこれを用いたレリーフパターンの製造法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-318081
公開番号（公開出願番号）：特開平11-153868
出願日： 1997年11月19日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】 i線露光で、膜厚においてもアルカリ水溶液現像が可能で、パターン性に優れるポジ型感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物及びi線露光の厚膜においてもアルカリ現像液を用いて現像して、良好なレリーフパターンが形成できる、レリーフパターンの製造法を提供する。【解決手段】 (A)イミド化率が5〜60%であるポリアミド酸及び(B)光により酸を発生する化合物を含有してなるポジ型感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物並びにこのポジ型感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物を基板上に塗布し、乾燥後、活性光線照射を行い、アルカリ水溶液で現像し、次いで加熱処理することを特徴とするレリーフパターンの製造法。

請求項（抜粋）：

(A)イミド化率が5〜60%であるポリアミド酸及び(B)光により酸を発生する化合物を含有してなるポジ型感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/039 501 , C08G 73/10 , C08L 79/08 , G03F 1/08 , G03F 7/022 , G03F 7/037 , H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/039 501 , C08G 73/10 , C08L 79/08 Z , G03F 1/08 A , G03F 7/022 , G03F 7/037 , H01L 21/30 502 R

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