特許

J-GLOBAL ID：200903033413894337

基板カセット

発明者： 山崎 秀作
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-154434
公開番号（公開出願番号）：特開2003-341784
出願日： 2002年05月28日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 基板と中央支持部との接触によって生じた異物を下段の基板に付着させない基板カセットを提供する。【解決手段】 中央支持部5を支持すると共に、外部の排気ポート7に連通する管路6dが設けられた支持部材6と、中央支持部5の周囲に設けられると共に、前記管路6dに連通する吸引口Kとからなる異物除去補助手段Jを備える。

請求項（抜粋）：

複数枚の基板(S)を水平姿勢で上下方向に多段収納する基板カセット(A)であって、基板(S)と中央支持部(5)との接触によって生じた異物を除去する異物除去補助手段(J)を備えることを特徴とする基板カセット。

IPC (4件)：

B65D 85/86 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68 V ,  B65D 85/38 R

Fターム (23件)：

2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC00 ,  3E096AA06 ,  3E096BA20 ,  3E096BB05 ,  3E096CA02 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096DA01 ,  3E096DA23 ,  3E096DA30 ,  3E096DB06 ,  3E096FA03 ,  3E096GA20 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031EA19 ,  5F031PA18 ,  5F031PA23