特許

J-GLOBAL ID：200903033419199932

化学濃度センサおよび化学濃度センサの製造方法

発明者： 高松 修司 ,  三村 享 ,  中西 剛 ,  田▲辺▼ 裕貴
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-081348
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279532
出願日： 2002年03月22日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】 単一の測定系でセンサを交換することなく多数の試料を迅速かつ定量的に測定できる化学濃度センサおよび化学濃度センサの製造方法を提供する。【解決手段】 一枚の半導体基板2の裏面側に形成された二次元化学濃度イメージセンサSL と、この二次元化学濃度イメージセンサSL の感応部2aを底面とするように、同じ基板2の表面側から形成された複数の凹入部3...と、各凹入部3...の内側面に臨ませるようにそれぞれ配置された比較電極4と、凹入部3...の底面に堆積させた感応膜20とを有し、各凹入部3...に収容される測定対象試料の化学濃度を個別に測定可能とした。

請求項（抜粋）：

一枚の半導体基板の裏面側に形成された二次元化学濃度イメージセンサと、この二次元化学濃度イメージセンサの感応部を底面とするように、同じ基板の表面側から形成された複数の凹入部と、各凹入部の内側面に臨ませるようにそれぞれ配置された比較電極と、凹入部の底面に堆積させた感応膜とを有し、各凹入部に収容される測定対象試料の化学濃度を個別に測定可能としたことを特徴とする化学濃度センサ。

IPC (3件)：

G01N 27/414 ,  G01N 27/27 ,  H01L 27/14

FI (8件)：

G01N 27/30 301 V ,  G01N 27/30 301 B ,  G01N 27/30 301 E ,  G01N 27/30 301 R ,  G01N 27/30 301 W ,  G01N 27/30 301 X ,  H01L 27/14 K ,  G01N 27/46 A

Fターム (8件)：

4M118AA10 ,  4M118AB07 ,  4M118AB10 ,  4M118BA05 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118EA20 ,  4M118FA06