特許

J-GLOBAL ID：200903033421941000

窒化アルミニウム焼結体の製造方法

発明者： 加曽利 光男 ,  堀口 昭宏 ,  大石 克嘉 ,  角野 裕康 ,  上野 文雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-220719
公開番号（公開出願番号）：特開平8-081264
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 120W/m・K以上の高い熱伝導率を有し、焼きむら、色むらおよび反りやうねりのない良好な外観性を有し、さらに表面の平滑性に優れたAlN焼結体の製造方法を提供しようとするものである。【構成】 (a)窒化アルミニウム粉末と、(b)前記窒化アルミニウム粉末に対してアルカリ土類金属もしくは希土類元素換算で0.1〜10.0重量%配合されるアルカリ土類金属化合物および/または希土類化合物と、(c)前記窒化アルミニウム粉末に対して無水物換算で0.01〜5.0重量%配合される酸化燐、燐酸塩および燐酸水素塩から選ばれる少なくとも1種の燐酸化合物とを含む組成の原料を成形する工程と、前記成形体を非酸化性雰囲気中、1400〜1700°Cで焼結する工程とを具備したことことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

(a)窒化アルミニウム粉末と、(b)前記窒化アルミニウム粉末に対してアルカリ土類金属もしくは希土類元素換算で0.1〜10.0重量%配合されるアルカリ土類金属化合物および/または希土類化合物と、(c)前記窒化アルミニウム粉末に対して無水物換算で0.01〜5.0重量%配合される酸化燐、燐酸塩および燐酸水素塩から選ばれる少なくとも1種の燐酸化合物とを含む組成の原料を成形する工程と、前記成形体を非酸化性雰囲気中、1400〜1700°Cで焼結する工程とを具備したことを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。

FI (3件)：

C04B 35/58 104 B ,  C04B 35/58 104 U ,  C04B 35/58 104 F