特許

J-GLOBAL ID：200903033432597068

圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電デバイス

発明者： 小倉 誠一郎
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 村上 友一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-065875
公開番号（公開出願番号）：特開2003-264446
出願日： 2002年03月11日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：

【要約】【課題】 励振電極を平行に配置することが可能であり、不要な振動を発生させることがない、逆メサ型ATカット圧電振動片の提供を目的とする。【解決手段】 結晶軸(X,Y′,Z′)を有するATカット圧電振動片の、±Y′側主面にそれぞれ逆メサ部10a,10bを形成し、各逆メサ部にそれぞれ励振電極20を配置した、逆メサ型ATカット圧電振動片であって、逆メサ部10aにおける-Z′側端点Raを、逆メサ部10bにおける-Z′側端点Ubより-Z′側に配置し、および、逆メサ部10bにおける+Z′側端点Rbを、逆メサ部10aにおける+Z′側端点Uaより+Z′側に配置して、各励振電極20を平行に配置可能とした。

請求項（抜粋）：

結晶軸(X,Y′,Z′)を有するATカット圧電振動片の、±Y′側主面にそれぞれ逆メサ部を形成し、前記各逆メサ部にそれぞれ励振電極を配置した、逆メサ型ATカット圧電振動片であって、+Y′側の前記逆メサ部における-Z′側端点(Ra)を、-Y′側の前記逆メサ部における-Z′側端点(Ub)より、-Z′側に配置し、および/または、-Y′側の前記逆メサ部における+Z′側端点(Rb)を、+Y′側の前記逆メサ部における+Z′側端点(Ua)より、+Z′側に配置して、前記各励振電極を平行に配置可能としたことを特徴とする圧電振動片。

IPC (5件)：

H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/04

FI (5件)：

H03H 9/19 D ,  H03H 3/04 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/18 101 A

Fターム (14件)：

5J108AA01 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108CC12 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108FF01 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108KK02 ,  5J108KK07 ,  5J108MM14 ,  5J108NA04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 圧電デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-216599   出願人：東洋通信機株式会社
• 水晶振動子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-011886   出願人：日本電波工業株式会社