特許
J-GLOBAL ID:200903033434447551
研磨材固定用両面粘着テープ
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-358308
公開番号(公開出願番号):特開2004-189846
出願日: 2002年12月10日
公開日(公表日): 2004年07月08日
要約:
【課題】被研磨物の研磨後の厚みのばらつき精度を数十μm程度にさせ得る研磨材固定用の両面粘着テープを提供する。【解決手段】独立気泡が均一に分布している厚み0.5〜2.0mmの樹脂製発泡体シート1の片面に樹脂フィルム2が積層された積層シート4の両面に、粘着剤層5,6が設けられてなることを特徴とする研磨材固定用両面粘着テープ7。更に、樹脂製発泡体シートの、温度10〜60°Cにおける貯蔵弾性率が1.0×106 〜1.0×107 Paである上記の研磨材固定用両面粘着テープ。更に、樹脂製発泡体シートの、厚みのばらつきが±1%以内である上記の研磨材固定用両面粘着テープ。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
独立気泡が均一に分布している厚み0.5〜2.0mmの樹脂製発泡体シートの片面に樹脂フィルムが積層された積層シートの両面に、粘着剤層が設けられてなることを特徴とする研磨材固定用両面粘着テープ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (24件):
3C058AA07
, 3C058AA14
, 3C058CB01
, 4J004AA05
, 4J004AA10
, 4J004AA11
, 4J004AB01
, 4J004CA04
, 4J004CA06
, 4J004CB04
, 4J004CC02
, 4J004CC03
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J040CA001
, 4J040DF001
, 4J040EK031
, 4J040JA09
, 4J040JB09
, 4J040LA06
, 4J040MB03
, 4J040NA20
, 4J040PA23
, 4J040PA42
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