特許

J-GLOBAL ID：200903033436067861

磁気抵抗効果型磁気ヘッド及びその製造方法

発明者： 工藤 久 ,  菅野 佳弘 ,  菅原 淳一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-183318
公開番号（公開出願番号）：特開平7-021529
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【構成】 MR素子6上に第2の絶縁膜11を介して先端,後端電極7,8が形成され、該先端,後端電極7,8が先端,後端電極接続孔14,15を通じてMR素子6に電気的に接続されてなる磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、上記第2の絶縁膜11の下地膜として、膜厚方向における酸素含有量がMR素子6側から先端,後端電極7,8側に向かうにつれ次第に増加する酸化アルミニウム層13を設ける。なお、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドを製造する際には、MR素子6上に、酸素含有量を膜厚方向に除々に増加させながら酸化アルミニウム層13を形成した後、該酸化アルミニウム層13の一部を除去して先端,後端電極接続孔14,15を形成し、その上に先端,後端電極7,8を積層形成すれば良い。【効果】 MR素子と電極の接続が確実となり、MR素子の特性が保証され、生産性,製造歩留りが向上される。

請求項（抜粋）：

少なくとも磁気抵抗効果素子上に酸化アルミニウム層を介して電極が積層形成され、上記電極が酸化アルミニウム層に形成される電極接続孔を通じて磁気抵抗効果素子に電気的に接続されてなる磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、上記酸化アルミニウム層の膜厚方向における酸素含有量が、磁気抵抗効果素子側から電極側に向かうにつれ次第に増加していることを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッド。