特許

J-GLOBAL ID：200903033437212091

検査データ解析システム

発明者： 石川 誠二 ,  坂田 正雄 ,  中里 純 ,  下社 貞夫 ,  長友 宏人 ,  谷口 雄三 ,  佐藤 修 ,  岡部 勉 ,  坂本 雄三郎 ,  村松 公夫 ,  松岡 一彦 ,  橋本 泰造 ,  大山 祐一 ,  江原 裕 ,  宮崎 功 ,  花島 秀一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-208811
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115594
出願日： 1989年07月12日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】本発明は、処理効率を向上させる電子デバイス検査システムを提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、前記目的を達成するために、電子デバイスとなるワークを検査する第一、第二の検査装置と、該第一の検査装置が検査して得た情報を受信する第一の処理装置と、該第二の検査装置が検査して得た情報を受信する第二の処理装置とを備えた電子デバイス検査システムであって、該第一、第二の検査装置が該ワークを検査して得た情報を該ワークを検査した後で送信するものである。

請求項（抜粋）：

被検査ワーク上の外観不良を検出する異物検査装置もしくは外観検査装置と、該異物検査装置もしくは該異物検査装置の検出した被検査ワークの外観不良に関する検査データから、被検査ワークの外観不良の度数に対する被検査ワーク数の度数を出力するデータ処理装置とを備えたことを特徴とする検査データ解析システム。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66 ,  B65B 57/10

FI (5件)：

G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 21/66 J ,  B65B 57/10 D ,  G06F 15/62 405 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-066447
  
• 特開平1-151243