特許

J-GLOBAL ID：200903033439185792

表面顕微鏡およびその類似装置

発明者： 保坂 純男 ,  長谷川 剛 ,  細木 茂行 ,  本多 幸雄 ,  菊川 敦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 薄田 利幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-002863
公開番号（公開出願番号）：特開平5-187863
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【目的】 大面積の試料(半導体ウェハ、磁気ディスク等)を切断することなくそのままの大きさで観察、測定することのできる原子間力、磁気力等を利用した表面顕微鏡を提供することにある。【構成】 試料(2)表面に対向配置される探針(1)をカンチレバー(1A)によって保持し、該カンチレバー(1A)をX,Y方向走査機能およびZ方向サーボ制御機能を有する3次元移動機構(3)上に装着し、該探針(1)側を試料(2)の表面に対してX,Y方向走査すると共にZ方向サーボ制御する構成とした。また、探針-試料間に働く微小力の検出には光てこ方式を採用した。【効果】 大面積試料でもそれを切断することなく、試料表面上の任意の場所の観察、測定ができる。また、光てこ方式の採用により、探針の3次元移動に伴なう微小力検出誤差の影響を小さくできる。

請求項（抜粋）：

カンチレバーによって保持された探針の先端を試料の表面に近づけたときに上記探針と試料との間に働く微小力を検出することによって上記試料の表面情報を得るように構成された表面顕微鏡において、上記探針を保持したカンチレバーを試料表面に対して実質的に平行な面内で移動させる機能を有する探針移動機構上に設置し、該探針移動機構により上記探針を試料表面に対して走査せしめる如く構成されてなることを特徴とする表面顕微鏡。

IPC (3件)：

G01B 21/30 ,  G01B 11/30 102 ,  H01J 37/28