特許

J-GLOBAL ID：200903033445393623

ダイヤモンドの気相合成方法

発明者： 神田 一隆 ,  竹端 精己 ,  吉田 昇一 ,  山岸 憲一郎
出願人/特許権者： 株式会社不二越
代理人 (1件)： 河内 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-303350
公開番号（公開出願番号）：特開平8-225394
出願日： 1988年12月02日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【課題】 黒鉛を原料とし、水素と酸素または炭素を含まない酸素化合物の混合ガスを媒体として、安価にダイヤモンドあるいはダイヤモンド状硬質膜を合成する。【解決手段】 真空槽内の圧力が予め設定された第1の真空度になるまで真空槽内を排気した後、真空槽内に設置された黒鉛を600 °C以上2000°C以下に加熱しつつさらに真空槽内の排気を続け、真空槽内の圧力が予め設定された第2の真空度に達したところで真空槽内の排気を停止する。次に、炭素を含まない反応ガスを真空槽内へ供給し、真空槽内の圧力が予め設定された値に到達したとき反応ガスの供給を停止し、さらに真空槽内に充填された反応ガスを真空槽内で循環させる。以上の処理により反応ガスが充満しかつ閉鎖された真空槽内の雰囲気中において、発生せしめた放電プラズマ中または加熱されたフィラメントの近傍に置かれかつ600 °C以上1200°C以下に加熱された基体上にダイヤモンドを合成させる。

請求項（抜粋）：

真空槽内の圧力が予め設定された第1の真空度になるまで真空槽内を排気した後、該真空槽内に設置された黒鉛を600°C以上2000°C以下に加熱しつつさらに真空槽内の排気を続け、真空槽内の圧力が予め設定された第2の真空度に達したところで真空槽内の排気を停止し、しかる後水素原子数と酸素原子数の比が1:0.001〜0.3に調整された、炭素を含まない反応ガスすなわち水素ガスと酸素ガスとの混合ガス;炭素を含まない酸素化合物ガス;酸素ガスと炭素を含まない酸素化合物ガスとの混合ガス;のいずれかを真空槽内へ供給し、該反応ガスの供給により真空槽内の圧力が予め設定された値に到達したとき反応ガスの供給を停止し、さらに真空槽内に充填された前記反応ガスを真空槽内で循環させ、以上の処理により反応ガスが充満しかつ閉鎖された真空槽内の雰囲気中において、発生せしめた放電プラズマ中または加熱されたフィラメントの近傍に置かれかつ600°C以上1200°C以下に加熱された基体上にダイヤモンドを合成することを特徴とするダイヤモンドの気相合成方法。

IPC (3件)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  B23B 27/14

FI (5件)：

C30B 29/04 R ,  C30B 29/04 B ,  C30B 29/04 G ,  C23C 16/26 ,  B23B 27/14 A