特許

J-GLOBAL ID：200903033450299260

フォトマスクデータ表示確認装置

発明者： 山崎 清司 ,  町谷 雄二
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-318659
公開番号（公開出願番号）：特開2003-122812
出願日： 2001年10月16日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：

【要約】【課題】 表示手段にて、LSIレイアウトデータあるいは描画装置用のフォトマスクデータの解析等のビューイングにおいて、JOBデータを構成する複数のマスクデータを図形表示させながら、且つ、目的とするマスクデータを強調表示して、目視確認するための確認装置を提供する。【解決手段】 JOBデータを記憶蓄積する記憶手段と、図形表示を行なう表示手段と、図形データに強調処理を施し、対応する強調表示用の図形データを作成し、これを表示図形データとして表示手段におくる強調処理手段と、記憶手段からマスクデータ毎に図形データを取得し、強調表示を行なう対象のマスクデータについては、その各図形データを強調処理手段へ送り、強調表示を行なわないマスクデータについては、その各図形データを表示図形データにして表示手段に送る図形表示制御手段とを備えている。

請求項（抜粋）：

JOBデータについて、その複数のマスクデータを表示手段にて図形表示させながら、且つ、目的とするマスクデータを強調表示して、目視確認するための確認装置であって、JOBデータを記憶蓄積する記憶手段と、図形表示を行なう表示手段と、図形データに強調処理を施し、対応する強調表示用の図形データを作成し、これを表示図形データとして表示手段におくる強調処理手段と、記憶手段からマスクデータ毎に図形データを取得し、強調表示を行なう対象のマスクデータについては、その各図形データを強調処理手段へ送り、強調表示を行なわないマスクデータについては、その各図形データを表示図形データにして表示手段に送る図形表示制御手段とを備えていることを特徴とするフォトマスクデータ表示確認装置。

IPC (3件)：

G06F 17/50 672 ,  G03F 1/08 ,  G06F 3/00 654

FI (3件)：

G06F 17/50 672 Z ,  G03F 1/08 A ,  G06F 3/00 654 D

Fターム (17件)：

2H095BA02 ,  2H095BB07 ,  2H095BD06 ,  2H095BD28 ,  2H095BD40 ,  5B046AA08 ,  5B046BA04 ,  5B046GA01 ,  5B046HA09 ,  5E501AC15 ,  5E501AC20 ,  5E501BA03 ,  5E501BA06 ,  5E501CA02 ,  5E501FA14 ,  5E501FB04 ,  5E501FB28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• LSIレイアウトデータ描画装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-333091   出願人：日本電気株式会社
• 描画処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-205579   出願人：富士通株式会社
• 図面ファイルの作成編集方法及びそのプログラムを記憶してなる媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-057655   出願人：武藤工業株式会社
• 特開平4-220770